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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成部分重慶氣密性檢漏儀主要由質(zhì)譜儀室、真空系統(tǒng)和電控部分組成。檢漏時(shí)，打開吸入閥V2和前泵，對(duì)檢漏接口抽真空。當(dāng)檢漏接口真空度小于40pa時(shí)，打開精細(xì)檢漏閥V4，關(guān)閉吸入閥v2。用分子泵的反擴(kuò)散抽運(yùn)方向在質(zhì)譜儀室中檢測(cè)氦。此時(shí)檢漏儀的小檢漏率為10-13pa·m3/s。
質(zhì)譜檢漏儀以其靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位準(zhǔn)確、定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)得到了廣泛的應(yīng)用。但在長(zhǎng)期使用過程中，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，影響設(shè)備的正常使用。 Nhj-400氦質(zhì)譜檢漏儀是一種磁偏轉(zhuǎn)180°的質(zhì)譜分析系統(tǒng)。其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)不同的偏轉(zhuǎn)半徑和不同的質(zhì)量負(fù)載比來分離不同種類的離子。 |
